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曝光培训资料 净房环境控制： 进入菲林房不准戴手表、戒指等首饰，不留长指甲， 头发不准 外露，须着防尘工衣，经 风淋室吹风至少15秒方可进入。 穿著防尘工衣、工鞋不得到菲林房及更衣室以外的地方。 D/F内与露铜板面直接接触的人员需戴手套及戴口罩作业： 4、菲林房温度保持在20±2℃,每两小时检查一次。 5、菲林房相对湿度保持在55±5%。 6、菲林房含尘量要求 0.5um以上的尘粒≤10kpc /立方英尺。 7、菲林房使用黄光灯照明。 8、纸张和纸箱不能放在洁净房内，垃圾清洁每班两次，时间13:30,19:30,1:30,7:30 9、干菲林须在更衣室内拆箱，连同塑料底用粘尘布粘净所附灰尘，经风淋后放入菲林房内之干菲林仓库。 10、其余物料均须经过风淋后方可进入菲林房 11、任何机器和物件不能在干净房用酒精浸泡清洗；对于必须用酒精浸泡清洗的物件（如：自动贴膜机吸盘，刀槽等）要拿到干净房以外处理，且要求选取 空旷、通风、远离机电设备和热源处进行清洁；清洗过程需派专人监护以即时采取安全措施； 曝光机的操作与参数设置： A、曝光机操作见现场操作。 B、各曝光机参数设置： 主真空值： A35、36、37≥0.08mPa；A38、39 0.045~0.055mPa；A34 (-38)~(-13)cmHg； A30/31/32/41/47/48/49/50 (-55)~(-45)cmHg； A40/42/45/46≥-80cmHg 所有玻璃真空： （-25）~（-20）inchHg 所有菲林真空： （-25）~（-20）inchHg 抽主真空时间：15~35sec(要求线隙4MIL的,抽气时间不少于30SEC) 以上参数检查频率：每班两次。 曝光灯使用寿命： 点灯式曝光灯曝光3000次，长明式曝光灯曝光累计时间MEI要求700小时，内部控制2200小时。在使用过程中出现异常时，需更换新灯。 C、曝光尺控制： 1、关位面5~7格、线路面6-8格，上下不超过一格，能量测试曝光尺以残膜读取格数为准。 2、曝光尺检查频率：每4小时一次，测试前需空曝两次。如中途更换板型，需按所生产型号的线宽线隙作相应调整。 3、曝光尺测试板板厚要求连铜厚≤20MIL 4、曝光尺尺寸区分：8X12为A班使用，12X12为B班使用，需用新辘的测试板进行测试。 5、曝光尺寿命：两个月，使用期间由QA调校OK方可使用。 6、选用曝光尺测试板时需用与生产板同种厚度的干膜辘的板进行测试，更换不同厚度的干膜板，需重测曝光尺方可生产。 D、玻璃架曝光机生产控制： I、玻璃框架主真空密封垫条安装程序： 目的：增加主真空的密封效果，防止主真空漏气，从而减少曝光不良。 垫条规格选用： 根据生产板Core厚选择适当规格的密封垫条：Core厚：2~80 mil选用1.6 mm厚密封垫条；Core厚：81~128 mil选用3.0 mm厚密封垫条；所有玻璃框架均需安装适当规格的密封垫条。 3、垫条安装位置：下玻璃四周，垫条与玻璃间距约为2~5mm，确保垫条在主真空密封圈正下方，使垫条与框架紧密粘合，接合处不能有垫条叠压及漏气； 密封垫条由SE统一更换；密封条使用寿命为一周，正常条件下每周更换一次，如因生产板厚需求或主真空出现异常时由PROD通知SE根据实际情况更换新密封垫条并做记录。 II、玻璃架板条安装程序： 1、目的：增加菲林与板之间的密合性，从而防止曝光不良。 2、板条规格： 板条宽度：1~2 cm； 板条长度：靠框架内侧需安装两张板条，板条长度与比对应生产板板边尺寸的一 半小2~6；其他板条长度与比对应生产板板边尺寸小5~10； 板条厚度(包括双面胶厚度)比生产板厚度(含干膜或油膜厚度) 大0~2 mil 。 3、板条安装位置： 4、板条安装注意事项： 所有板条需安装在黑菲林上方； 要求板条与生产板边保持平行，间距：0.5~1（做厚板时可达到2）； 板条不允许有打折，板条上双面胶须粘贴平整，每月统一销毁旧板条。 E、唛拉机生产控制： 为改善抽气效果，在菲林两旁需加垫导气条。 每周更换一次Mylar，Mylar有松动、擦花、损坏等缺陷，及时更换。 当主真空值达到最大时，方可用胶刮擦气。 麦拉擦气次数：大背板不少于20次,＞3FT2的板不少于12次,≤3FT2的板不少于9次. 麦拉机的菲林每条边必须不少于2个抽气孔, 单元内抽气孔严禁打在靠密集线路旁，且确保孔边平整、光滑,不能有披锋. 麦拉机在机位上洗菲林时不能将菲林水倒入抽气孔，以防曝光不良 擦气动作要均匀用力适当 注意：用力过大或