一种长使用寿命的新型微波等离子体激发装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109104808A
(43)申请公布日
2018.12.28
(21)申请号20181
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石英管式微波等离子体装置说明书
目 录
设备简介及使用范围
技术参数及特性
设备安装
操作及注意事项
设备维护
常见故障及维护办法
富阳精密仪器厂,浙江富阳新登南四葛溪南路26号 邮编311404,联系业务电话0571
一、设备简介及使用范围
设备简介
该设备利用频率为2.45GHz的微波激励稀薄气体放电，从而产生等离子体。真空反应室为Φ50mm的石英管腔体。放置样品的基片台可以方便地在反应腔体内上下升降调节。
基片台位于石英管反应腔体的中心，该基片台除了基本的上下升降功能外，同时具有水冷控温的功能，双层水冷支架与基片台可
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