GB/T 40418-2021电子特气　氟甲烷.pdf

ICS71.100.20 CCSG86 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT40418 2021 电子特气 氟甲烷 — Electronicsecialt as Fluoromethane p yg 2021-08-20发布 2022-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT40418 2021 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )提出并归口。 SACTC203 : 、 、 ( ) 本文件起草单位 浙江省化工研究院有限公司 昊华气体有限公司 中船重工 邯郸 派瑞特种气体 、 、 、 、 有限公司 衢州氟硅技术研究院 中化蓝天氟材料有限公司 福建久策气体股份有限公司 广东华特气体 、 、 、 、 股份有限公司 天津绿菱气体有限公司 江西华特电子化学品有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 、 、 、 上海申南特种气体有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 大连大特气体有限公司 上海凡伟仪器 、 ( ) 、 、 设备有限公司 联雄投资 上海 有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 浙江东开半导体科技有限 、 ( ) 、 、 、 公司 和立气体 上海 有限公司 昆明广瑞达特种气体有限责任公司 西南化工研究设计院有限公司 西 、