利用气体处理及脉冲化的离子束蚀刻.pdf

GB/T 15861-2012离子束蚀刻机通用规范.pdf ICS31-550 L97 中华人民共和国国家标准 / — GBT15861 2012 代替 / —

2020-06-09 约2万字 16页立即下载

GB/T 15861-1995离子束蚀刻机通用技术条件.pdf

2021-05-31 约小于1千字 12页立即下载

2025-03-02 约2.19万字 32页立即下载

高真空脉冲激光沉积于离子束清洗系统的实验步骤.doc 高真空脉冲激光沉积于离子束清洗系统的实验步骤合上空气开关。打开冷水机（冷水机内充入的是纯净水），打开开关，然后再打开冷水机背面的PLD的进回水阀。按下总控电源的开关，报警选择开关打到报警档（如果仪器报警，说明水没接好），打开开关后，电源上A、B、C三个指示灯均亮。打开机械泵开关。按下复合真空计的开关[ZDF-5227B]，在右侧的显示屏上显示真空室内的真空度。如果此时真空度大于5Pa，就慢慢打开旁抽阀，此时，机械泵对真空室旁抽，待真空室的在真空度低于5Pa后，关上旁抽阀，然后打开电磁阀。打开闸板阀（闸板阀完全打开时露出手柄约13-14个扣），再打开分子泵电源开关（推到ON），分子泵

2017-06-05 约1.57千字 3页立即下载

2025-06-13 约3.65万字 59页立即下载

Zr基金属玻璃和金属钨的强流脉冲离子束辐照研究的开题报告.docx Zr基金属玻璃和金属钨的强流脉冲离子束辐照研究的开题报告一、课题背景与意义：随着科技的不断进步，高强度材料的需求不断增加，而金属玻璃正是一种具有优异力学性能的高强度材料。它的特性在一定程度上提高了材料的稳定性和可靠性，同时也对材料的加工和制造带来了挑战。随着脉冲离子束辐照技术逐渐成熟，研究金属玻璃和金属钨的强流脉冲离子束辐照对于了解其微观结构和性能的变化，以及优化其制造工艺和应用具有重要的意义。二、研究目的和内容：本课题旨在研究Zr基金属玻璃和金属钨的强流脉冲离子束辐照下的微观结构变化，以及对其力学性能的影响。具体内容包括以下几个方面： 1.通过计算机模拟分析脉冲离子束辐照对金属玻璃和

2024-05-05 约小于1千字 2页立即下载

强流脉冲离子束特性优化及辐照力学效应研究的开题报告.docx 强流脉冲离子束特性优化及辐照力学效应研究的开题报告开题报告一、研究背景随着科学技术的发展，强流脉冲离子束技术在材料研究领域中被广泛应用。强流脉冲离子束可以通过其高能量、高密度和高流强等特性，对材料进行微观结构改变和强化，从而在材料性能的提高、材料的制备和修复、工程装备维护等领域中有着广泛的应用前景。但是，在实际应用中，由于技术上存在诸多不确定性，如束流品质、辐照剂量、束流角度等因素的影响，导致离子束的辐照效应和材料损伤情况不稳定，因此需要进一步研究强流脉冲离子束的特性和辐照力学效应。二、研究目的本文旨在通过对强流脉冲离子束特性的研究，探究其在材料科学中的应用前景，并深入探究强流脉冲离

2024-04-10 约1.48千字 4页立即下载

《离子束分析》课件.ppt 离子束分析Ion Beam Analysis (IBA) Department of Modern Physics in Lanzhou University Lanzhou University 主讲：Zhang Xiaodong E-mail: zhangxd@lzu.edu.cn 参考书目《离子束分析》杨福家 1985版《原子核物理实验方法》（下） 1985版《粒子同固体物质相互作用》（上）王广厚《质子X荧光分析和质子显微镜》任炽刚 1981版课程安排综述卢瑟福背散射分析（RBS）、弹性反冲分析（ERD）和沟道技术粒子诱发X射线荧光分析（PIXE）核反应

2018-09-30 约1.35千字 10页立即下载

离子束刻蚀技术.ppt 离子束刻蚀应用报告人：孟伟什么是离子？什么是离子束？离子：带电荷的原子或分子。带正电荷的离子称“正离子”，带负电荷的离子称“负离子”。 离子束：以近似一致的速度沿几乎同一方向运动的一群离子。 离子束刻蚀（IBE） 离子束刻蚀是利用具有一定能量的离子轰击材料表面，使材料原子发生溅射，从而达到刻蚀目的. 把Ar、Kr或Xe之类惰性气体充入离子源放电室并使其电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，具有一定能量 的离子束进入工作室，射向固体表面撞击固体表面

2017-11-07 约1.11千字 10页立即下载

聚焦离子束技术.pdf 材料现代分析方法聚焦离子束技术第四章第四章第四章第四章聚焦离子束技术聚焦离子束技术聚焦离子束技术聚焦离子束技术（（（（FIBFIBFIBFIB ）））） College of MSE, CQU 1 材料现代分析方法

2017-05-10 约1.47万字 42页立即下载

限制等离子束的装置.pdf (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113365402 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 202010151455.9 (56)对比文件 (22)申请日 2020.03.06

2023-06-19 约2.5万字 24页立即下载

2025-05-31 约9.36千字 16页立即下载

利用重离子辐照及蚀刻技术制备锂离子电池隔膜的开题报告.pdf 利用重离子辐照及蚀刻技术制备锂离子电池隔膜的开题报告一、研究背景和意义随着电动汽车和便携式电子设备的普及，需求不断增加的锂离子电池已成为人们生活中不可或缺的重要部分。为了提高锂离子电池的性能和寿命，隔膜作为锂离子电池中的重要组成部分，起到了至关重要的作用。传统隔膜的制备方法通常采用机械拉伸或挤压缩的方法，但这种方法得到的隔膜会具有一定的内应力和微型缺陷，导致隔膜的性能不够理想。因此，开展利用重离子辐照及蚀刻技术制备锂离子电池隔膜的研究，可以有效地改善锂离子电池的质量和寿命，提高锂离子电池的性能和可靠性。同时，该研究的开展对于锂离子电池相关领域的发展和应用具有重要的意义。

2024-09-20 约小于1千字 2页立即下载

电子束和离子束加工.ppt 关于电子束和离子束加工第1页，共36页，星期日，2025年，2月5日第一节电子束加工?一、电子束加工的基本原理和特点1、基本原理电子束加工是在真空条件下，利用聚焦后能量密度极高的电子束，以极高的速度（当加速电压为50V时，电子速度可达1.6×105km/s）冲击到工件表面的极小面积上，在极短的时间(几分之一微秒)内，其能量的大部分转变为热能，使被冲击部分的工件材料达到几千摄氏度以上的高温，从而引起材料的局部熔化和气化，而实现加工的目的。这种利用电子束热效应的加工，称为电子束热加工。第2页，共36页，星期日，2025年，2月5日电子束加工的另一种是利用电子束流的非热效应。功率密度较小的电子束流和

2025-02-26 约7.17千字 36页立即下载

电子束与离子束加工.ppt (3) 离子束加工是靠离子轰击材料表面的原子来实现的，是一种微观作用，所以加工应力和变形极小，适宜于对各种材料和低刚件零件进行加工。在目前的工业生产中，离子束加工主要应用于刻蚀加工(如加工空气轴承的沟槽，加工极薄材料等)、镀膜加工(如在金属或非金属材料上镀制金属或非金属材料)、注入加工(如某些特殊的半导体器件)等。　　离子束加工装置由离子源系统、真空系统、控制系统和电源组成，如下页图所示。离子源又称离子枪，其工作原理是将气态原子注入离子室，经高频放电、电弧放电、等离子体放电或电子轰击等方法被电离成等离子体，并在电场作用下使离子从离子源出口孔引出而成为离子束。如图所示

2018-04-12 约5.5千字 43页立即下载