薄膜技术中文版01前言.pdf

薄 膜 技 术—1 前言 我是谁？ 张旭海 Tel: E-Mail: zhangxuhai@seu.edu.cn 研究领域:主要从事高性能薄膜材料及新型材料表面处理技术 的研究 主要内容 一、什么是薄膜？ 二、薄膜和体材料的区别? 三、薄膜的发展史 四、现代薄膜沉积技术 五、薄膜技术课程内容 一、什么是薄膜？ 什么是薄膜？ 膜厚小于1微米薄膜（thin film ） – 由原子、分子、离子逐个沉积形成的二维材料 膜厚大于1微米涂层（coating ） 二、薄膜和体材料的区别? 薄膜与体块材料的区别-1 物理特点 薄膜 块材 密度（致密度） ≤ 熔点 ≤ 晶粒的尺寸 细 （微米级） 大 Al薄膜密度随基片温度的变化 Ag薄膜熔点随薄膜厚度的变化 薄膜与体块材料的区别-2 化学计量比 – 薄膜化学计量比易失配 • SiO SiO 2 x • 透明导电薄膜--氧化铟锡（ITO） – 氧化铟锡的氧失配 InSnOx 导电性 薄膜与体块材料的差异 薄膜特有的性能 三、薄膜的发展史 古代薄膜应用 现代薄膜应用 鎏 金 • 煞（杀）金 • 抹金 • 开金 • 压光 磨 镜 磨 镜 磨 镜 • 镜面有一层几十至几百 纳米的厚富锡透明膜， 含锡量达60 ％。 • 富锡层表面存在一层致 密、透明、微晶态二氧 化锡薄膜 光可照人、千年不锈的东汉 “水银包浆”铜镜 上釉 陶瓷上釉的好处 • 美观 • 卫生 陶瓷上釉术的发明是一个纯粹的福音。上釉 陶瓷不仅达到艺术创作的水平，而且从讲究卫生 出发也是一大进步，因为光滑的陶器比从前使用 的粗糙陶器或木制器皿更易保持清洁。 斯塔夫里阿诺斯全球通史p292 现代薄膜应用 电学薄膜 光学薄膜 磁性薄膜 机械功能薄膜 • 电学薄膜 – 半导体器件与集成电路用导电薄膜和介