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一种高精度电容薄膜真空计.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112834110 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011604898.5 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人季华实验室地址 5

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