(高清版)-B-T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准.pdf

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

GB/T40129—2021/ISO13084:2018

表面化学分析二次离子质谱

飞行时间二次离子质谱仪质量标校准

Surfacechemicalanalysis—Secondaryionmassspectrometry—Calibrationofthe

massscaleforatime-of-flightsecondaryionmassspectrometer

(ISO13084:2018,IDT)

2021-05-21发布2021-12-01实施

国家市场监督管理总局

国家标准化管理委员会发布

GB/T40129—2021/ISO13084:2018

目次

前言Ⅲ

引言IN

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4符号和缩略语1

4.1符号1

4.2缩略语2

5方法概述2

6提高质量准确度的方法3

6.1获取用于优化的参考样品3

6.2制备聚碳酸酯样品3

6.3获取SIMS质谱数据3

6.4计算质量准确度3

6.5优化仪器参数5

6.6谱图校准程序7

附录A(资料性)校准不确定度9

附录B(资料性)内部添加法10

参考文献12

I

GB/T40129—2021/ISO13084:2018

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件使用翻译法等同采用ISO13084:2018《表面化学分析二次离子质谱飞行时间二次离子

质谱仪质量标校准》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。

本文件起草单位：中山大学。

本文件主要起草人：陈建、谢方艳、龚力、杨慕紫、杨皓、张浩、张卫红。

Ⅲ

GB/T40129—2021/ISO13084:2018

引言

二次离子质谱(Secondaryionmassspectrometry,SIMS)是用于分析有机表面和分子表面的一种

强