PECVD培训D知识分享.pptx
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centrotherm;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;;33;;35;36;;38;39;40;41;42;;44;
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PECVD段工艺培训;2;工艺人员的主要职责;对PECVD的简单介绍;2、PECVD定义：
PECVD：PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition
的简称，即等离子体增强化学气相沉积。
与其他成膜方式如PVD、LPCVD相比，其优点有：
基本温度低、沉积速度快、成膜质量好、不易龟裂等。
;PECVD原理与作用;什么是等离子体？
等离子体是气体在一定条件下受到激发，发生电离，部分
外层电子脱离原子核，形成电子、正离子和中性粒子混合组
成的一种形态，这种形态称为等离子态，也称为第四态。
;1、减反射;2、钝化;介绍两种PECVD设备;直接法：
样品直接接触等离子体，
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与其他成膜方式如PVD、LPCVD相比，其优点有：
基本温度低、沉积速度快、成膜质量好、不易龟裂等。
;PECVD原理与作用;什么是等离子体？
等离子体是气体在一定条件下受到激发，发生电离，部分
外层电子脱离原子核，形成电子、正离子和中性粒子混合组
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PECVD工艺 PECVD工艺 Centrotherm PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接在装在镀膜板中间的介质的中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。可以根据改变硅烷对氨的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。 管式直接等离子方式镀膜 。 Centrotherm管式PECVD设备 3 4 PECVD工艺 设备主要结构包括： 晶片装载区 炉体 特气柜 真空系统 控制系统 PECVD工艺 Centrot
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1 上海艾力克新能源有限公司 Shanghai Alex New Energy Co., Ltd. PECVD工艺培训 目录 PECVD的作用 PECVD的原理 PECVD工艺参数的调整 安全 定义 等离子体：由于物质分子热运动加剧，相互间 的碰撞就会使气体分子产生电离，这样物质就 会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子 和中性粒子组成的混合物。 PECVD：Microwave Remote Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 微波间接等离子增强化学气相沉积 PECVD工作原理 PECVD的作用 在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-
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PECVD工艺培训;目 录
总述
PECVD设备简介
3 PECVD的基本原理与工艺
4 PECVD检测介绍
5 注意事项
;1、PECVD工序在太阳电池制造中的位置;PECVD设备有三个腔体，分别是上料腔，工艺腔（包括预热、沉积和冷却三部分）和下料腔。各腔体直接有闸门阀隔开。;石墨载板; PECVD： Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition（等离子增强型化学气相沉积）
等离子体：气体在一定条件下受到高能激发，发生电离，部分外层电子脱落原子核，形成电子、正离子和中性粒子混合物组成的一种形态，这种形态就称为等离子态。
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知识分享与培训经验汇报人：可编辑2024-01-05
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知识分享的重要性01
01提升专业技能通过分享个人专业知识与实践经验，不断巩固和更新自己的知识体系，提高专业技能水平。02拓展知识视野在分享过程中，可以了解到不同领域的知识和见解，从而拓展个人的知识视野，增强综合素质。03提高表达能力知识分享需要清晰、准确地表达观点和经验，这有助于提高个人的沟通表达能力和演讲技巧。个人成长与提升
促进团队凝聚力01通过知识分享，加强团队成员之间的交流与合作，形成共同的学习目标，提高团队凝聚力和协作效率。02激发创新思维不同成员之间
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演讲人：日期：培训知识分享会
CATALOGUE目录01培训知识分享会背景与目的02培训内容与主讲嘉宾简介03互动环节与讨论议题设置04参会人员与报名方式说明05培训知识分享会流程安排06总结与展望
01培训知识分享会背景与目的
背景介绍公司发展需要随着公司业务的不断拓展，员工需要不断更新知识和技能，以适应市场变化和岗位需求。员工能力提升团队协作加强员工渴望通过学习和交流，提升自身的专业技能和综合素质，实现个人职业发展。团队之间的协作和沟通是公司发展的重要保障，培训知识分享会可以促进团队成员之间的交流和合作。123
目的和意义通过培训知识分享会，可以让员工更好地了解公司文化和发展历程，增强员工
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培训研究与知识分享汇报人：可编辑2024-01-04
目录培训研究知识分享培训与知识分享的结合企业实践案例
01培训研究
培训需求分析通过分析组织目标和员工需求，明确培训的重点和方向。收集员工绩效、技能水平、培训历史等相关数据，为需求分析提供依据。对收集的数据进行深入分析，识别员工的培训需求和组织发展的瓶颈。根据分析结果，制定针对性的培训计划，以满足员工的个人和组织发展需求。确定培训目标收集数据分析数据制定计划
传统面授在线学习实践操作混合式学习培训方法与技过讲师授课、案例分析等方式进行培训，适用于知识传授和技能培养。利用网络平台进行远程学习，方便员工随时随地参与培训，提高学习效率。通过实际操
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PECVD 部门：生产技术部 PECVD的介绍 PECVD: Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 等离子增强化学气相沉积 等离子体： 由于物质分子热运动加剧，相互间的碰撞就会使气体分子产生电离，这样物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。 PECVD的目的 在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。减少光的反射，增加电池对光线的吸收。 对电池的正表面进行H钝化 对电池正表面进行保护，防止氧化 SiNx:H SiNx:H介绍 正常的SiNx的Si/N之比为0.75，即Si3N4。但是PECVD沉积氮化硅的化学计量