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一种提升磷化铟中锌掺杂浓度的方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112802738 B (45)授权公告日 2021.07.27 (21)申请号 202110367279.7 H01L 21/02 (2006.01)

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