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一种用于防静电托盘加工的垂直气流冷却装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213480706 U (45)授权公告日 2021.06.18 (21)申请号 202021841061.8 (22)申请日 2020.08.28 (73)专利权人纳誉防静电材料（天津）有限公司

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