压阻式复合惯性加速度传感器的研究!.PDF

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 #1 1 #4 5 压阻式复合惯性加速度传感器的研究! # 迟晓珠 金鸿章 王劲松 哈尔滨工程大学自动化学院 哈尔滨 $ %’ # 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系统 哈尔滨 $ %’ 摘要 对于压阻式复合惯性加速度传感器的惯性变换系统的结构特性 工作原理进行了分析讨论 建立了数学模型 所设计的 ( ) ) 惯性式弹性敏感元件 能分别将线加速度产生的惯性力及角加速度产生的惯性力矩 转换成弹性梁的变形 通过应变计及电路 ) ) ) ) 将此变形转换成为可测的电学量 并能通过合理组合的测量电桥 消除线加速度及角加速度之间交叉耦合影响 并用试验证实 * ) * 了该惯性系统设计合理 它可以作为线加速度及角加速度复合测量用 ) * 关键词 复 合 压阻式 线加速度 角加速度 传感器 +,-,./012345,62/,-5-758,92:;,=,?3,/75.@00,,/2:,7,/ # ABCDCEFGBH ICJKFJLGBEJL MEJLICJNFJL O $ ) ) OdeeeO) ’ PQRSTURVSWXSYYZ[Z \U]^VW_W[VWZZ]VW[‘WVaZ]bVRc \U]^VW XfVWU g $ j j ) OdeeeO) ’ hZiR SkPQRSTURZlmZbRUWlXSWR]SY \U]^VWnWbRVRQRZSkmZofWSYS[c \U]^VW XfVWU ) ) @p-7/.07 qJrBCNEsrCtuv rBvtFJNrsHtrCFJtBEsEtrvsCNrCt wFsxysCJtCyuvFzrBvtF{yuv|rsEJNzFs{ErCFJN}Nrv{