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微米级厚度光刻胶的光刻仿真方法、仿真装置及调整方法.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117806137A

(43)申请公布日2024.04.02

(21)申请号202410143709.0

(22)申请日2024.02.01

(71)申请人复旦大学

地址200433

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