第一章 1 . 膜厚仪操作说明1-30页.pdf

(XULM-XYm.M9A(6.14)) P.1 螢光膜厚儀 Fischerscope 使用手冊 機型﹕Fischerscope XULM-XYm (德國 Fischer 公司) (2006/6) (版本 6.14) 頁 數 1 、儀器理想放置環境……………………………………………… P. 2 2 、測試台簡介(包括電源開關及更換保險絲)……………………. P. 2 3 、電源開啟………………………………………………………… P. 4 4 、電腦開機………………………………………………………… P. 5 5 、定位……………………………………………………………… P. 5 6 、選擇測試項目…………………………………………………… P. 9 7 、正常化(Norm)…………………………………………………… P. 10 8 、測試步驟及樣品放置方向………………………………………. P. 12 9 、印表抬頭之編輯、更改…………………………………………. P. 14 10 、快速列印步驟……………………………………………………. P. 15 11 、刪除讀值…………………………………………………………. P. 17 12 、測試時間之更改…………………………………………………. P. 18 13 、測試單位公制(um) 或英制(u”) 之選擇……………………….. P. 19 14 、光譜分析…………………………………………………………. P. 20 15 、樣品顯像放大倍率………………………………………………. P. 21 16 、中英文版軟體更換………………………………………………. P. 22 17 、列印測試樣品之影像……………………………………………. P. 23 18 、產品程式備份之製造與備份存回至電腦………………………. P. 25 19 、電腦當機之排除…………………………………………………. P. 30 20 、電腦關機步驟……………………………………………………. P. 30 21 、注意事項…………………………………………………………. P. 32 22 、輻射安全方面……………………………………………………. P. 32 23 、電器安全方面……………………………………………………. P. 33 24 、儀器和附件的維修………………………………………………. P. 33 25 、常用元素符號、原子序、密度及合金之代表…………………. P. 33 26 、列表符號意義……………………………………………………. P. 34 27 、列表文字意義……………………………………………………. P. 35 28 、測試範圍 A 、單層 B 、合金比例及厚度…………………. P. 35 C 、雙層…………………………………………….. P. 36 29 、Standard Deviation(S)標準差之計算公式及意義…………….. P. 37 30 、C.O.V. [%] 變動率公式………………………………………… P. 38 31 、影像不清、無法顯示之處理步驟………………………………. P. 39 32 、底材修正步驟……………………………………………………. P. 41 33 、複製………………………………………………………………. P. 44 34 、附錄:如何重新安裝 Video Card 影像擷取卡驅動程