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一种氮极性面氮化镓共振隧穿二极管及其制作方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113410312 B (45)授权公告日 2023.03.21 (21)申请号 202110651144.3 H01L 21/329 (2006.01)

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