一种高精度光学薄膜透射率或反射率测量方法及装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113008833 A
(43)申请公布日 2021.06.22
(21)申请号 202110144975.1
(22)申请日 2021.02.02
(71)申请人 中国人民解放军国防科技大学
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