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一种高精度光学薄膜透射率或反射率测量方法及装置.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113008833 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110144975.1 (22)申请日 2021.02.02 (71)申请人 中国人民解放军国防科技大学
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