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一种PVD新型冷却遮板.pdf

发布：2023-02-28约4.53千字共6页下载文档

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213172544 U (45)授权公告日 2021.05.11 (21)申请号 202021499912.5 (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人福建钧石能源有限公司

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