硅晶棒料切割装置用上压紧机构、切割机构及切割装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112829093 A
(43)申请公布日 2021.05.25
(21)申请号 202011625085.4
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 福州天瑞线锯科技有限公司
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