TFT-LCD显示技术知识.ppt

（2）光刻工艺流程 成膜 金属(Cr, Ta, Al) 溅射 非金属 SiNxea-Si n+a-Si PCVD ITO 溅射 刻蚀 金属 湿刻 非金属 干刻 Tsinghua University 清洗 成膜 清洗 涂光刻胶 前烘 曝光 显影 坚膜 刻蚀 去膜 1. a-Si TFT-LCD 工业化制造技术成熟。 生产工艺不断简化，生产过程全封闭自动化。 成品率十年间从30%提高到90%。 十年间从第一代发展到第四代。 加工尺寸：300× 400mm 生产能力：4万M2/年 20~40万M2/年 Tsinghua University 六、TFT-LCD技术水平现状和发展趋势 第五代面板有效使用率 单位：mm Tsinghua University 更低、更薄、更轻 以13.3”为例 视角：90o →170o 亮度：500尼特 对比度：100：1 → 500：1 解析度：200PPi VGA →UxUGA 640× 480 1920× 1200 3. 价格大幅度下降。 Tsinghua University 2.产品性能大幅度提高 年 1998 1999 2001 功耗(W) 4.4 3.3 2.5 厚度(mm) 7.2 5.5 5 重量(g) 580 450 400 清华大学 张百哲 TFT-LCD显示技术 一、显示器市场 二、显示技术 三、LCD技术和产业发展历史 与发展趋势 四、LCD基础知识 五、TFT-LCD的基本原理 六、TFT-LCD技术特点及应用 领域 Tsinghua University 一、显示器市场 高速发展的信息量 显示器的重要性 显示器发展方向 显示器的种类 CRT LCD(AMLCD PMLCD) PDP VFD EL LED OLED FED 主要应用 电视 计算机 移动通讯 占 87% Tsinghua University 市场 全世界CRT和FPD市场 单位：亿美元 单位：亿美元 Tsinghua University 年 1998 1999 2000 2001 2002 2003 2004 CRT 230 240 240 250 250 260 260 FPD 140 160 170 180 210 230 260 显示器 AM LCD PM LCD PDP 其他PDP FPD总计 CRT 显示器 总计 1999 113 38 8 14 169 235.5 404 2005 237 41 58 20 344 268 617 二、显示技术 ⒈ CRT 优点：﹡高性能价格比 ﹡高分辨率 ﹡可视性能好 ﹡发光效率高 ﹡彩色丰富 ﹡长寿命 ﹡响应快 ﹡大规模生产 弱点：﹡笨重 ﹡显示闪烁，光散射 ﹡X射线辐射 ﹡工作电压高，功耗大 ﹡≤45英寸 威胁：市场被FPD取代，辐射， 闪烁 Tsinghua University ⒉ LCD 优点：﹡低电压、低功耗 ﹡薄、轻 ﹡可直接用IC驱动 ﹡无闪烁辐射 ﹡可用于便携产品 ﹡市场巨大 弱点：﹡生产工艺复杂