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一种基于硅纳米结构的高分辨率结构色超表面及制备方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113013630 A (43)申请公布日 2021.06.22 (21)申请号 202110188254.0 (22)申请日 2021.02.18 (71)申请人中国科学院微电子研究所

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