薄膜材料技术与物理1.pdf
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1.1 真空的基本概念
1.1.1 真空的定义
第一章 真空技术 压力低于一个大气压的任何气态空间
气体处于平衡时，气体状态方程
P = nkT
3 -23
许多薄膜技术是在真空下实现的， P：压强（Pa），n：气体分子密度（个/m ），k：玻尔兹曼常数（1.38×10 J/K）
3
V：体积（m ），m：气体质量（kg），M：分子量（kg/mol）
23
R：气体普适常数，T：绝对温度（K），R=N ·k，N ：阿佛伽德罗常数（6.023×10 /mol）
“真空”是许多薄膜制备的必要条件，因 A A
3
（个/m）
19 3
此，掌握一定的真空知识是必需的。
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