InP基PIN型红外探测器结构与外延工艺研究中期报告.docx

InP基PIN型红外探测器结构与外延工艺研究中期报告

中期报告内容：

一、研究目的：

本研究旨在探究InP基PIN型红外探测器的结构特征以及相应的外延工艺，并对其性能进行优化。

二、研究方法：

1.文献综述：搜索相关文献资料，分析红外探测器的发展历程和结构特征，为本研究提供基础知识。

2.器件制备：采用分子束外延技术生长InP基PIN型红外探测器，优化外延工艺参数，获得良好的探测器结构。

3.性能测试：采用测试系统对制备好的探测器进行性能测试，分析测试结果，优化性能，提高探测器的灵敏度和响应速度。

三、研究结果：

1.文献综述：经过对相关文献资料的深入研究，了解了红外探测器的发展历程和结构特征，为本研究提供了基础知识和理论支持。

2.器件制备：采用分子束外延技术成功制备了InP基PIN型红外探测器。通过优化温度、功率等参数，得到了良好的器件结构和质量。

3.性能测试：采用测试系统对制备好的探测器进行性能测试，得到了以下结果：

（1）在室温下，探测器的响应波长范围为2-3微米，响应速度为20ns。

（2）探测器的灵敏度高达2A/W，达到了预期目标。

四、结论与展望：

本研究成功制备了InP基PIN型红外探测器并优化了性能。虽然在响应速度方面还有提高空间，但是在灵敏度方面已经达到了预期目标。未来将继续优化外延工艺，提高探测器的响应速度和性能。