多晶硅的生产工艺及研究论文(可编辑).doc

多晶硅的生产工艺及研究论文 毕业论文设计 2012 届 题 目 多晶硅的生产工艺及研究 专 业 学生姓名 学 号 小组成员 指导教师 完成日期 2012年4月日 毕 业 论 文设 计 任 务 书 班级 0248 1论文设计题目 多晶硅的生产工艺及研究 2论文设计要求 1学生应在教师指导下按时完成所规定的内容和工作量最好是独立完成 2选题有一定的理论意义与实践价值必须与所学专业相关 3主题明确思路清晰 4文献工作扎实能够较为全面地反映论文研究领域内的成果及其最新进展 5格式规范严格按系部制定的论文格式模板调整格式 6所有学生必须在 月 日之前交论文初稿 3论文设计日期任务下达日期 2012年2月17日 完成日期 2012年4月8日 4指导教师签字 毕 业 论 文设 计成 绩 评 定 报 告 序号 评分指标 具 体 要 求 分数范围 得 分 1 学习态度 努力学习遵守纪律作风严谨务实按期完成规定的任务 010分 2 能力与质量 调研论证 能独立查阅文献资料及从事其它形式的调研能较好地理解课题任务并提出实施方案有分析整理各类信息并从中获取新知识的能力 015分 综合能力 论文能运用所学知识和技能有一定见解和实用价值 025分 论文设计质量 论证分析逻辑清晰正确合理 020分 3 工作量 内容充实工作饱满符合规定字数要求绘图 表 符合要求 0 15分 4 撰写质量 结构严谨文字通顺用语符合技术规范图表清楚字迹工整书写格式规范 0 15分 合计 0100分 评语 成 绩 评阅人签名 日 期 毕业论文答辩及综合成绩 答 辩 情 况 自 述 情 况 清晰完整流利 简练 清晰 完整 完整熟悉内容 基本 完整熟悉内容 不熟悉内容 提 出 问 题 回 答 问 题 正 确 基本 正确 有一般性错误 有原则性错误 没有 回答 答辩小组评语及建议成绩 答辩委员会综合成绩 答辩委员会主任签字 年 月 日 多晶硅的生产工艺及研究 学号 姓名 摘要多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法西门子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅为了提高原料利用率和环境友好在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法该工艺将工业硅加工成SiHCl3再让SiHCl3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅还原炉排出的尾气H2SiHCl3和HCl经过分离后再循环利用硅烷法是将硅烷通入以多晶硅晶种作为流化颗的流化床中是硅烷裂解并在晶种上沉积从而得到颗粒状多晶硅改良西门子法和硅烷法主要生产电子级晶体硅也可以生产太阳能级多晶硅此外多晶硅的生产技术还有碳热还原法和区域熔炼法等碳热还原法是利用高纯碳还原二氧化硅制取多晶硅的区域熔炼法是利用金属定向凝固原理将金属级硅提纯到太阳能级硅的 关键词多晶硅西门子法硅烷法冶金法太阳能电池目 录 1 多晶硅简介 1 11 多晶硅的定义及性质 1 12 多晶硅的利用价值 1 2 多晶硅的生产工艺 2 21 工艺原理 2 22 生产工艺方法 2 221 西门子法 2 222 硅烷法 3 223 流化床法 4 224 冶金法 6 3 多晶硅尾气回收工艺研究与发展 8 31 回收方法 8 311 湿法回收 8 312 干法回收 8 313 膜分离回收 9 4 多晶硅质量影响因素的分析 11 41 原料对多晶硅质量的影响 11 411 三氯氢硅对多晶硅质量的影响 11 412 氢气对多晶硅质量的影响 11 42 反应温度的影响 11 43 混合气配比的影响 12 44 设备洁净条件的影响 12 45 其他 12 5 多晶硅生产工艺的危险及有害因素 13 51 多晶硅生产过程中化学物质的危险特性 13 52 工艺过程危险有害因素分析 13 521 火灾爆炸 13 53 中毒窒息事故危险有害因素 16 54