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一种基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统及检测方法.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341196 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110396661.0 (22)申请日 2021.04.13 (71)申请人电子科技大学地址

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