一种双面多层钝化膜、制备方法及晶硅太阳能电池.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 114883453 B
(45)授权公告日 2023.03.28
(21)申请号 202210687926.7 H01L 31/0216 (2014.01)
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