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金刚石微通道热沉、制备方法和应用以及半导体激光器.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113337806 B (45)授权公告日 2022.08.09 (21)申请号 202010140690.6 C23C 16/505 (2006.01)
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