金刚石微通道热沉、制备方法和应用以及半导体激光器.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113337806 B
(45)授权公告日 2022.08.09
(21)申请号 202010140690.6 C23C 16/505 (2006.01)
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