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一种膜厚度测量装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218595620 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222934857.3 (22)申请日 2022.11.04 (73)专利权人立铠精密科技（盐城）有限公司地址

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