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钝化接触结构及其制备方法和应用.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113345969 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110466085.2 H01L 31/068 (2012.01)
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