钝化接触结构及其制备方法和应用.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113345969 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110466085.2 H01L 31/068 (2012.01)
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