一种消除真空热流加载过程中热累积的装置.pdf
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 213423029 U
(45)授权公告日 2021.06.11
(21)申请号 202021824996.5
(22)申请日 2020.08.27
(73)专利权人 北
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