C面蓝宝石上单一取向的生长研究.pdf
文本预览下载声明
E 2005, 35(3): 249~253 249
C γ-LiAlO2
(, 201800)
(VTE) (0001)
γ-LiAlO2 . X , (1050∼ 1100 ), γ-LiAlO2
[100], ,
. VTE GaN
γ-LiAlO (100)//Al O (0001).
2 2 3
γ-LiAlO2
GaN,
,
[1]. GaN ,
GaN, ,
[2] . .
c, Al O
2 3
[3]. (0001)Al O (0001)GaN
2 3
( 14%), .
, ,
TD , ,
. , γ-LiAlO2 ,
[1120] GaN|| [00 1]LiAlO2 1.4%, γ-LiAlO2
GaN. Li,
[4,5]
γ-LiAlO , . Al O LiAlO
2 2 3 2
2004-05-18 , 2004-10-28
SCIENCE IN CHINA Ser. E Engineering Materials Science
250 E 35
, , . ,
VTE(vapor transpo
显示全部