PECVD的结构及在太阳能电池制造中的使用HZZ.ppt

工艺气体反应图 PECVD工艺显示界面 辉光放电介绍 电极 电极口 PECVD安全注意事项 人身安全 舟和桨从炉管中出来后带有高温，移动小车时要注意不要被烫伤。 机器在自动运行状态下严禁进入机器内部。 进入机器前，需把选择开关打到手动“HAND”，待机械手执行完命令停下后，方可进入机器。 清理管内碎片时需戴上高温手套和防护眼镜。 接触到碎片时，务必戴好乳胶手套，以防刺到手。 做吸笔时，要防止吸笔切断的部分对自己或他人造成伤害。 上班要精神饱满，动作严禁“自主创新”，必须按章操作 设备 设施 工夹具的安全 机器在生产的过程中需有人看护。 未经培训合格不得操作设备，未经授权严禁使用工序长得权限操作机器。 推小车进机器时，要首先确定电极孔的位置对内向炉体，否则有可能撞坏高频的两根电极。 在SLS处于UP位置时，管内有舟不可手动进桨。 在SLS处于DOWN位置时，桨上有舟不得手动进舟。 桨上有舟时，舟不在正确位置，不准切换到自动运行状态。 PECVD安全注意事项 舟位于储存架时，一定要确认储存架上的感应器有没有感应到。 遇到两舟向撞时，立即按压“HANDLING STOP”。 机械臂把舟抓到桨上后，工艺无法正常运行，先确定舟在桨上的位置，以及Tube=ready、SLS=up 、 TGA=yes，然后进行其它操作。 退舟时，发生“Boat failure”的警报，观察舟的位置是否正确后才可以对警报进行复位。 当发生舟桨分离时，立即按压“HANDLING STOP”。 清理管内碎片要注意热电偶，清理结束后一定要将热电偶放于管子的中间位置，否则进退舟时有可能被撞掉。 PECVD安全注意事项 从手动切换到自动状态时，机械臂一定有在Middle的位置，否则机械臂有可能无法运行而报警。 下料后，及时把小车推到冷却房，小车解锁后严禁放置设备中不移走。 推小车时，不能脱离小车，要竖着推车，如果周围有人时应事先通知，待回应后方可继续推行。 进出舟时，待舟完全进入或者完全退出时，员工方可离开。 小车被锁定后，严禁转动小车托盘。 拿放石墨舟进出柜时，必须两个人，一个人拿舟，一个人开柜。 在无人的情况下，小车托盘必须保持水平状态 。 PECVD安全注意事项 产品安全 进入机器需戴手套不允许手直接接触石墨舟和小车上的不锈钢网罩 从刻蚀间运片子时保证有片子的小车盖子盖好 拉到PECVD岗位后，需将片子放入洁净柜中 保证流到下道工序片子的质量 拿片子时，只允许一只手拿一盒 搬运木制承载盒时，双手要托住盒子底部 PECVD安全注意事项 卸片后，承载盒必须放入小车内，严禁放在小车盖子上。 工序主管、工序长不在现场时，不允许用手移动石墨舟。 出现事故，第一时间通知值班经理到场，且保留现场，绝不允许有隐瞒事故真相的事情发生。 PECVD安全注意事项 手推车的推法 从刻蚀间推硅片时，把数量对号后，盖子盖好之后方可推行 推行的方位是小车盖子的打开方向，不可以按扶手的方向推车，以免盖子的支撑柱伤到人或其他。 推行时要注意小车的平稳，严禁忽快忽慢。 到达岗位时将小车放到指定的位置。 盖子打开取出硅片后，要把盖子重新盖好。 卸空了的承载盒放到小车下面或者车子里面。 盖子盖好后返还刻蚀间。 小车的推法 推小车的方向是竖着的。 推小车的速度要平稳且缓慢。 推小目视要面向前方，如周围有人要事先通知，待回应后方可继续推行。 小车行走时要按照指定的路线进行。 小车移动时，手不能脱离小车。 移动小车时，要与墙面、设备、设施、工夹具等，保持一定的距离避免相撞。 ＰＥＣＶＤ的其他设备情况： 石膜舟，清洗机，烘箱，冷却台，装片台，承载台，存储柜，保护柜。奥曼特 椭偏仪 SENTECH 椭偏法是一种测量光在样品表面反射后偏振状态改变的广西方法，它可以同时测得样品薄膜的厚度和折射率。 椭圆偏振仪原理与测试分析： 单（多）晶颜色差： A级片（优质片）：单片电池的颜色均匀一致，颜色范围从蓝色开始，深蓝色、红色、黄褐色、到褐色之间允许相近色差(例如:蓝色和深蓝色存在于单体电池上，但是不允许跳色,即蓝到红)，主体颜色为深蓝色，单体电池最多只允许存在2种颜色。 B级片（一级片）：单片电池颜色不均匀，允许存在跳色色差,最多跳一个相近色(例如：红色和褐色存在于单体电池上)，主体颜色为蓝色～红色范围，单体电池最多只允许存在3种颜色。 C级片（降级片）：超过B合格片的检验范围，包括完全未镀上减反射膜的电池片。 判断PECVD 的产出硅片的质量 判断PECVD 的产出硅片的质量 氮化硅颜色与厚度的对照表 颜　色 厚度（nm） 颜　色 厚度（nm） 颜 色 厚度（nm） 硅本色 0-20 很淡蓝色 100-110 蓝 色 210-230 褐 色 20-40 硅本色 1