关于成立刻蚀设备公司可行性分析报告_参考范文.docx
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泓域咨询/关于成立刻蚀设备公司可行性分析报告
关于成立刻蚀设备公司
可行性分析报告
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报告说明
终点检测系统被广泛应用于刻蚀设备中,以保证刻蚀的深度和时间符合工艺要求。刻蚀反应对无需刻蚀的物质(下层薄膜,掩膜等)也会有一定损耗。反应过程中,当需要被刻蚀去除的物质层被完全剥离后,刻蚀设备仍会以较慢速率继续去除下一层级的物质,从而造成过刻蚀。
为解决过刻蚀的问题,部分集成电路在构造中新增了刻蚀反应停止层;其次,刻蚀设备也配备了终点检测系统。终点检测系统集成在工艺模块中,可以通过光谱测量多种参量,如刻蚀速率的变化,刻蚀中被去除的腐蚀产物类型,气体放电中活性反应剂的变化等。
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