电容式传感器论文.doc

电容式传感器 合肥工业大学计算机与信息学院 电子信息工程13-3班聂建兆 摘要：电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多技术问题，使电容式传感器不但广泛应用于精确测量位移、厚度、角度、振动等物理量，还应用于测量力、压力、差压、流量、成分、液位等参数，在自动检测与控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 1 电容式传感器的工作原理和结构形式 1.1电容式传感器的工作原理 电容式传感器是一个具有可变参量的电容器，将被测非电量变化成为电容量。多数情况下，电容式传感器是指以空气为介质的两个平行金属极板组成的可变电容器。 由两平行极板组成一个电容器，若忽略其边缘效应，则它的电容量可用下式表示 C= ?S/δ= ?0?r S/δ 式中 S ——极板相互遮盖面积（m2）； δ——两平行板间距离（m）； ?r ——极板间介质的相对介电常数； ?0 ——真空的介电常数（8.85×10－12F/m）。 由式（7-1）可见，在?r、S、δ三个参量中，只要保持其中两个不变，改变其中的一个均可使电容量C改变，这就是电容式传感器的工作原理。所以电容式传感器可以分为三种类型：改变极板面积的变面积型；改变极板间距离的变极距型；改变极板间介质的变介质型。 2 电容式传感器的分类 2.1 固定介质变间隙电容式传感器 固定介质变间隙电容式传感器结构： 固定介质变间隙电容式传感器的灵敏度： 固定介质变间隙电容式传感器的非线性误差： 介电常数提高，可以提高灵敏度因子，这时灵敏度得到提高，但非线性误差也增加了，为了减小非线性误差，也可以采用差动方式。 2.2 变面积电容式传感器 变面积电容式传感器结构： 变面积电容式传感器的灵敏度： 变面积电容式传感器的非线性误差： 变面积电容式传感器无非线性误差，增加，减小可以提高灵敏度，不能太小，否则边缘效应明显。 2.3 变介电常数电容式传感器 变介电常数电容式传感器结构： 3 电容式传感器的信号调节电路 3.1运算放大器式电路 电路： 3.2 电桥电路 电路 3.3 调频电路 直放式调频 外差式调频 外差式调频比直放式调频性能优越，其选择性高、特性稳定、抗干扰性强。 调频方式具有抗干扰性强、特性稳定、输出电平高（伏特级） 3.4 谐振电路 电路 特点： 灵敏度高 工作点难以确定 工作范围窄 传感器要离电路近。 振荡器要求稳定性高。 3.5二极管T型网络 电路 当时： 充电，； 放电， 当时： 充电，； 放电， 放电和放电形成电流正和负，的平均值为两者之差。 平衡时： 平衡时： 特点： 、、、有共同的地 工作电平高，都工作于线性区 输出电压高 输出电流大，时，数量级 上升时间小，时，数量级。适合高速测量。 3.6 脉冲宽度调制电路 电路 初值： 加电时假设：， ，这时充电，不断提高，不充电，不变。 不断提高的时，S触发使， ，这时通过快速放电充电使，而开始充电，不断提高。 不断提高的时，R置位使， ，这时通过快速放电充电使，而开始充电，不断提高。 输出电压脉冲宽度与和充电时间常数有关，从而使得输出电压的平均值与和的大小有关。设 变极板距离电容时： 对于差动电容：，， 变面积电容时： 对于差动电容：，， 4 影响电容式传感器精度的因素及提高精度的措施 4.1 影响精度的因素 温度对电容结构尺寸的影响，将引起电容值的变化。 温度对电容的电介质的影响，将引起电容值的变化。 电容式传感的电容很小，容抗大，电容漏电流有较大的分流作用，将引起电容式传感灵敏度的下降。 电容边缘效应和寄生参数将引起电容式传感的非线性效应，并且使灵敏度下降。 4.2 提高精度的措施 选用温度系数小和稳定的材料和电介质，以消除温度的影响。 增加原始电容值，以减小寄生电容和漏电的影响。 缩短传感器到测量电路前置级的距离，以减小寄生电容和提高寄生电容的稳定性。 采用驱动电缆法，以消除电缆电容效应。 采用整体屏蔽法，以消除寄生参数效应。整体屏蔽法就是将整个传感器桥体，包括电源和电缆，用一个统一屏蔽保护起来P104图5-23。 5 电容式传感器的应用 5.1 压差式电容压力传感器 构成：膜片——动极板，一般采用不锈钢材料制作，需要加预张力。玻璃基片上镀有金属层的球面极板，这里的球面很夸张。球面的作用是压力过大时（过载）保护膜片，并改善系统的非线性。后续测量电路常使用差动脉冲调宽电路。 由压差式