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MEMS传感器和电子设备.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112830447 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110072854.0 (22)申请日 2021.01.19 (71)申请人潍坊歌尔微电子有限公司

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