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一种支撑电极及加热器和单晶炉.pdf

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113337896 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110463329.1 (22)申请日 2021.04.23 (71)申请人上海新昇半导体科技有限公司

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