超薄Fe膜吸收率的尺寸效应.pdf
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第 37卷 第 10期 仓 庸 学 厦 Vo1.37 N0.10
2001年 10 月 ACTA METALLURGICA SINICA October200 l
超薄 Fe膜吸收率的尺寸效应
谭明晖 杜 昊 卢春燕 宫 骏 黄荣芳 闻立时
(中国科学院金属研究所 沈阳 l10016)
摘 要 研究了超薄 Fe膜在可 波段皿扎外波段的吸收率随薄膜厚度变化的关系 结果表明.金属薄膜吸收率具有尺寸技
应 并具有极大值 对比超薄 Fe膜啦收率与其直流电导率的实验结果可知 结构特征变化是导致吸收率足寸散应的重要原因
关键词 超薄 Fe膜.嘎收率 尺寸杖厘
中囝法分类号 04844 文献标识码 A 文章编号 0412—196~(2001)10—1097—03
SIZE EFFECT oF THE ABSoRPTAN CE oF
ULTRA—THIN IRoN FILM S
TANMinghui,D Hao.LuChunyan GONGJun HUANGRongfang,WEN Lishi
[~atituteofM etalResearck、TheChltteseAcademyofSciences、Shenyaag 1IN[)16
Correspondent:TANMinghui.engineerTd (02~)22843531557々i.Fax.e0戡)2s8{sss6
E-mail:mhton@?mrQC.en
Manuscriptreceived 2000-ll _加 inrevised form 200103—0g
ABSTRACT TherelationshipbetweenahsorptanceandEhicknessofultra-thinironfilmsinvisible
andIR regionsindicatedthattheahsorptanceofthemetalfihnshassizee ect.Thereflectaalceand
traalsnlittaalceofthefilmskeptfixed valueswhen thetlficknessoffilmswasover20nm. In visible
regioxi themaximum ofahsorptanceofultra dfinlronfilmsappeared atthicknessofabout18nm
In .nfTaredregion.theabsorptanceroofofultra thinfihnsappearedatthickne~ ofaboutl(卜20nln
ComparingelectricconductivitycharacteristicwithahsorptanceofthefilmsWithdifferentthicknesses1
itcanbeconcludedthattheuniqHestructurefeatureofthefihnsledtothesizeeftectoftheabsorptante.
KEY W ORDS ultra—thinironfilm .absorptancesizee舶 ct
当电磁波入射到块体金属材料或者厚度比较大的金 了超薄 膜在可见光和红外波段反射率、透射率和吸收
属膜表面时,根据 MKxwell方程 透射波 E(zf)= 率的尺寸效应
E0e… et 一 _l{.其中卢为相位常数,n南、衰减常
1 实验方法
数 当将场量衰减至原来值的 i/e时、电磁波所经过的
距离定义为穿透探度 6.对于金属.由 电导率 口非常 盎工作采用直流磁控溅射方法制备超薄 Fe膜.基片
大,舟电常数 《 / 为角频率),所以 一ln= 为聚酯膜 【无吸收J.用丙酮怍清洗剂,经超声清洗后装入
(2/ .当波长为 10crn的时候 Cu的穿透深度
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