电子功能与元器件 气敏元件的制作工艺.pptx

4-5 气敏元件的制作工艺;主要内容;纳米SnO2材料的制备;液相合成;;4-5-1 气敏材料的制备;2.沉淀法 沉淀法是在金属盐类的水溶液中, 控制适当的条件使沉淀剂与金属离子反应, 产生水合氧化物或难溶化合物, 使溶质转化为沉淀, 然后经分离、干燥或热分解而得到纳米颗粒。具体又可细分为直接沉淀法、均匀沉淀法、共沉淀法和醇盐水解法。该方法工艺简单, 所得颗粒的性能良好, 而且在制备金属氧化物纳米粒子等方面具有独特的优点, 因此也是目前纳米材料制备中较常用的方法。;滴加少许盐酸防止水解 ;4-5-1 气敏材料的制备;3.水热法 水热法是指在特制的密闭反应器(高压釜) 中, 采用水溶液作为反应体系, 通过将反应体系加热至临界温度(或接近临界温度), 在反应体系中产生高压环境而进行无机合成与材料制备的一种有效方法。该方法原料易得, 成本相对较低, 可以制备出纯度高、晶型好、分散性好以及大小可控的纳米颗粒。此外, 在水热法的基础上, 以有机溶剂(如乙醇、甲酸、苯、乙二胺、CCl4等) 代替水, 采用溶剂热反应来制备纳米材料是水热反应法的一种重大改进。;1.0mol/L的锡酸钠溶液50mL ;4-5-1 气敏材料的制备;4.乳液法 微乳液法是利用两种互不相溶的溶剂在表面活性剂的作用下形成均匀的乳液, 从乳液中析出固相从而制备出一定粒径的纳米粉体的制备方法。微乳液法作为一种新的制备纳米材料的方法, 具有实验装置简单、操作方便、应用领域广和颗粒的粒度可控等优点。目前该方法逐渐引起人们的重视和极大兴趣。 ;4-5-1 气敏材料的制备; 5.模板合成法 亦称模板法, 是将单体、聚合物溶液或熔体引入模板的纳米孔洞中, 通过化学或物理方法得到结构规整、排列整齐的聚合物一维纳米材料的制备方法。 模板法又分为软模板和硬模板法。软模板主要包括两亲分子形成的各种有序聚合物, 如液晶、胶团、微乳状液、囊泡、膜、自组装膜等,以及高分子的自组织结构和生物大分子等。硬模板主要是指一些具有相对刚性结构的模板, 如阳极氧化铝膜、多孔硅、分子筛、胶态晶体、碳纳米管和限域沉积位的量子阱等。;4-5-1 气敏材料的制备;陶瓷管;;旁热式SnO2气敏元件;4-5-3 气敏元件??掺杂改性;4-5-3 气敏元件的掺杂改性;4-5-3 气敏元件的掺杂改性;4-5-3 气敏元件的掺杂改性;4-5-3 气敏元件的掺杂改性;1、灵敏度的提高;;;;1、灵敏度的提高;4-5-3 气敏元件的改性;4-5-3 气敏元件的掺杂改性;;4-5-3 气敏元件的掺杂改性;知识点