化学放大型感光性组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜的制造方法及酸扩散抑制剂.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114902134 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202080089487.9 (74)专利代理机构 上海立群专利代理事务所
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