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化学放大型感光性组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜的制造方法及酸扩散抑制剂.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902134 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080089487.9 (74)专利代理机构 上海立群专利代理事务所
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