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一种晶元芯片检测工装.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220525941U

(45)授权公告日2024.02.23

(21)申请号202322005208.X

(22)申请日2023.07.28

(73)专利权人张家港市集成电

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