20172017年度国家科学技术奖励候选项目情况公示年度国家科学.pdf

1 2017 年度国家科学技术奖励候选项目情况公示 2017 年度国家技术奖励推荐工作正在进行。根据推荐通知要求，现将中国科学 院上海微系统与信息技术研究所、上海新安纳电子科技有限公司、奥瑞德光电股份 有限公司和杭州安飞诺有限公司联合申报的 2017 年度推荐国家科学技术奖励（技术 发明奖）候选项目情况公示如下，为期 10天。 2 国家技术发明奖推荐书 (2017 年度) 一、项目基本情况 专业评审组：新材料 序号： 编号： 推荐单位(盖章) 或推荐专家 中国科学院 项目 名称 项目名称 电子级二氧化硅纳米新材料及原子级表面抛光应用关键技术 公布名 电子级二氧化硅纳米抛光新材料及工业化应用中的关键技术 主要完成人 宋志棠、刘卫丽、秦飞、左洪波、李宁、孔慧 项目密级 公开 定密日期 保密期限(年) 定密机构(盖章) 学科分类 名称 1 其他非金属矿物材料制品制造技 代码 43078 2 专项化学用品制造技 代码 530621 3 电子专用材料技术 代码 51045 所属国民经济行业 先进制造 所属国家重点发展领域 新材料 任务来源 国家重大专项、973、国家自然科学基金，省、市、自治区计划 具体计划、基金的名称和编号： 1、 国家“十一五”科技重大专项，“电子级纳米磨料产业化研究及其在 IC 抛光液中的应用” 2009ZX02030-001 2、 国家“十二五”科技重大专项，“40-25nm 集成电路用纳米磨料和相变材料抛光液的研究和产业化” 2011ZX02704-0012 3、 973（A 类），“半导体相变存储器”，2013CBA01900 4、 国家自然科学基金，“新型 LED 蓝宝石衬底抛光液设计与其抛光机理研究” 5、 上海市科技攻关计划，“65 纳米及以下 ULSI 用铜化学机械抛光液研究，08111100300 6、 上海市纳米技术专项，“面向 LED 蓝宝石衬底的抛光液与抛光工艺示范线”，11nm0500300 7、 上海市纳米技术专项，“新型 SiO2 基纳米磨料及其在 IC抛光液上的应用研究”，0952nm00200 8、 上海市基础性研究计划，“纳米抛光液产业化关键技术及其 CMP 工艺研究”05nm0543 已呈交的科技报告编号： 676273009-2009zx0203001/01，676273009-2011z02 授权发明专利（项） 40 授权的其他知识产权（项） 10 项目起止时间 起始：2003 年 1 月 1 日 完成： 2013 年 12 月 31 日 国家科学技术奖励工作办公室制 3 二、推荐单位意见 （专家推荐不填此栏） 推荐单位 中国科学院 通讯地址 邮政编码 联 系 人 联系电话 电子邮箱 传 真 推荐意见： 电子级 SiO2纳米磨料，IC、LED芯片等加工所需的抛光液被国外大公司垄断，严重制约了我 国信息与照明领域快速发展与产品的国际竞争力，中科院上海微系统与信息技术研究所从 2003年 开始电子级 SiO2纳米磨料和抛光液的研究。在国家重大专项、国家 973（A 类）等计划支持下， 建立了自主的基础研究、工程化与产业化技术平台，发明了 SiO2离子交换与表面改性制备新方法， 制备出超高纯度高性价比的电子级二氧化硅磨料，实现国内外销售，解决了我国 IC磨料的有无问 题；采用自主知识产权的二氧化硅磨料，发明了可用于典型硬脆性材料如蓝宝石高效抛光的系列 抛光液，在奥瑞德量产先进的加工平台上，开发出速度快、寿命长与成品率高的蓝宝石抛光工艺， 制备出高性价比的蓝宝石晶片；发明了柔塑性材料加工所需的新型系列抛光液，在杭州安费诺量 产工艺平台上，开发出大面积金属原子级抛光工艺，同时攻克了曲面工件的加工难题，在智能手 机、电脑全面推广，进一步研发出了相变存储器所需的相变材料抛光液。组建了上海新安纳电子 公司，建成了具有自主知识产权的上万吨的超纯 SiO2和抛光液生产线。本项目成果已获授权发明 专利 40项，实用新型专利 10项，获得 2项国家新产品证书，在 92家企业获得大规模应用，成为 国内第一家可大规模提供 IC抛光液磨料的单位，并被国际同行认为是国际上最先进的离子交换法 制备 SiO2纳米材料的单位之一。本项目成果中的蓝宝石