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光学元件切换装置.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220340468U

(45)授权公告日2024.01.12

(21)申请号202321612316.7

(22)申请日2023.06.21

(73)专利权人深圳市大族半导体装备科技有限

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