多晶硅太阳能电池制备工艺论文.doc

XINYU UNIVERSITY 毕业设计（论文） （2013届） 题 目 多晶硅太阳能电池制备工艺 二级学院 新能源科学与工程学院 专 业 光伏材料加工及其应用 班 级 10级光伏材料（一）班 学 号 1003020138 学生姓名 纪 涛 指导教师 胡 耐 根 目录 摘要……………………………………………………………………………1 Abstract………………………………………………………………………2 第 1 章 绪论…………………………………………………………………3 第 2 章 多晶硅太阳电池制备工艺…………………………………………5 2.1 一次清洗工序……………………………………………………………5 2.1.1 一次清洗工序的原理………………………………………………5 2.1.2 一次清洗工序的工艺参数…………………………………………5 2.2 扩散工序…………………………………………………………………6 2.2.1 扩散原理……………………………………………………………6 2.2.2 扩散工艺……………………………………………………………7 2.3 湿法刻蚀的工序及其原理………………………………………………8 2.4 等离子体增强化学气相沉积工序………………………………………10 2.4.1 等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的原理…………………10 2.5 丝网印刷工序及其工作原理……………………………………………11 2.6 测试分选工序及太阳能测试仪的原理 ……………………………… 13 2.7 小结………………………………………………………………………15 第 3 章 多晶硅太阳能电池行业展望………………………………………16 参考文献(References) ………………………………………………………17 致谢……………………………………………………………………………18  多晶硅太阳能电池制备工艺 摘 要 长期以来随着能源危机的日益突出，传统能源已不能满足能源结构的需求，然而光伏发电技术被认为是解决能源衰竭和环境危机的主要途径。而多晶硅太阳能电池份额占据光伏市场的绝大部分，并呈现逐年上升趋势，有极大的发展潜力。 本文在阐明了国内外光伏市场以及光伏技术发展趋势的基础上，对多晶硅太阳能电池的结构及其特性简述，同时对其制备工艺：一次清洗→扩散→湿法刻蚀去背结→PECVD(等离子体增强化学气相沉积)→丝网印刷→ 烧结→测试分选做简要介绍。 关键词：多晶硅太阳能电池；光伏技术；光伏工艺； Preparation technology of polycrystalline silicon solar cell Abstract For a long time as the energy crisis increasingly prominent, the traditional energy cannot satisfy the needs of the energy structure, however, photovoltaic power generation technology is regarded as the main way to solve the crisis of energy exhaustion and environment and polycrystalline silicon solar cell occupies most parts of photovoltaic market share, and presents the rising trend year by year, has great development potential。 This paper illustra