离子束表面改性及其在摩擦学中的应用.PDF

第 卷 第 期 摩 擦 学 学 报 , 。 年 月 , 评述 与进展 一 离子束表面改性及其在摩擦学 中的应用 张绪寿 冶银平 中国科学 院兰 州化 学物理研 究所 固体润滑开放研 究实验室 , 兰 州 摘 要 本文对 离子 束表面 改 性 的各种 方 法和 技术水平及其在 摩擦学 中的应用进 行了综 述 , 讨论 了 为使这 种技术更加广泛地 应用 于 实 际摩擦学体系还 必须研 究 的一 些 问题 大量文献 资料 表 。 明 , 离 子 注入是改善材料 摩擦学 性 能 的一种 有效方 法 离子 束辅助 涂层是新 近发 展起 来 的一种 离 、 子 束表面改性技术 , 包 括离子 束增强 沉积或离子束辅助 沉积 离子 束棍合和 离子束反 冲注 入 利 用它可 以制得 到几 个微米厚 的涂层 由于界 面 的相 互 扩散混合 , 离子束辅 助涂层 能更强地与 底材 结合 , 并且常 比物理 或化 学气相沉积 的涂层 更密 实 作者认 为, 离子束 技术今后 将在两个相 , 关领 域 中发 展 即直 接 的离子注入 和离子辅助涂层, 并且 指出离子辅助涂层技术将拓宽离子束技 术在摩擦学 中的应用 范 围。 一 关键词 离子 束表 面改 性 , 离于束增 强沉积 , 离 辅 助 涂层 , 离子束 混 合, 摩擦磨损 前 言