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（100）、（110）硅片湿法各向异性腐蚀特性研究的任务书

任务书

研究题目：（100）、（110）硅片湿法各向异性腐蚀特性研究。

研究目的：

本研究旨在探究不同晶面硅片在湿法腐蚀过程中的各向异性表现，为硅片制备和加工提供科学依据和参考。

研究内容：

1.硅片的基本物理性质和结构特征介绍；

2.各向异性腐蚀的基本原理及实验方案设计；

3.不同晶面硅片的湿法各向异性腐蚀实验，包括对腐蚀速率、腐蚀形貌、表面形貌等方面的分析与比较；

4.分析实验结果与现有理论模型的联系和差异；

5.探讨实验结果的应用意义及可能的进一步研究方向。

研究方法：

1.理论分析法：对硅片基本物理性质及各向异性腐蚀原理进行理论探究和分析；

2.实验方法：采用湿法腐蚀实验，分析不同晶面硅片的腐蚀速率、形貌等方面的数据，并与现有理论模型进行对比；

3.数据处理方法：利用统计学方法对实验结果进行处理分析，绘制图表并综合分析。

研究进度：

1.第一阶段（两周）：查阅文献，收集与硅片湿法各向异性腐蚀相关的实验和理论研究资料，总结硅片的基本物理性质和结构特征；

2.第二阶段（四周）：根据腐蚀实验的基本原理和实验方案设计，进行湿法腐蚀实验，记录数据和观察腐蚀形貌；

3.第三阶段（两周）：对实验数据进行统计分析处理，绘制图表，总结不同晶面硅片各向异性腐蚀的特性和规律；

4.第四阶段（两周）：结合现有理论模型，分析实验数据的联系和差异，并提出实验结果的应用意义和研究方向；

5.第五阶段（一周）：撰写学术论文，整理实验数据和分析结论，完善论文框架和语言表达。

研究成果：

1.完成硅片湿法各向异性腐蚀研究，探讨不同晶面硅片的腐蚀特性和规律；

2.提出实验结果和现有理论模型的联系和差异，探讨实验结果的应用意义和研究方向；

3.撰写学术论文，发表相关研究论文，为相关领域的研究提供新的思路和依据。