铁电性薄膜、使用其的电子元件以及铁电性薄膜的制造方法.pdf
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114902385 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202080090482.8 (51)Int.Cl.
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