文档详情

铁电性薄膜、使用其的电子元件以及铁电性薄膜的制造方法.pdf

发布:2023-05-15约2.9万字共45页下载文档
文本预览下载声明
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114902385 A (43)申请公布日 2022.08.12 (21)申请号 202080090482.8 (51)Int.Cl.
显示全部
相似文档