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一种耐受CO毒化的钯合金薄膜氢气传感器及其制备方法.pdf

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(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117250234A

(43)申请公布日2023.12.19

(21)申请号202311185780.7C23C14/00(2006.01)

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