GB_T 25915.3-2024洁净室及相关受控环境 第 3 部分 检测方法.docx
ICS13.040.35CCSC70
中华人民共和国国家标准
GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019代替GB/T25915.3—2010
洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part3:Testmethods
(ISO14644-3:2019,IDT)
2024-03-15发布2024-10-01实施
国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会
发布
GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019
目次
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1范围 1
2规范性引用文件 1
3术语和定义 1
3.1一般术语 1
3.2与空气悬浮粒子有关的术语 2
3.3与空气过滤器和过滤系统有关的术语 3
3.4与气流和其他物理状态有关的术语 4
3.5与静电测量有关的术语 4
3.6与测量器具和测量条件有关的术语 5
3.7与占用状态有关的术语 5
4检测规程 5
4.1洁净室检测 5
4.2原理 6
5检测报告 8
附录A(资料性)支持性检测和清单的选择 9
附录B(资料性)支持性检测方法 13
附录C(资料性)检测仪器 35
参考文献 43
Ⅰ
GB/T25915.3—2024/ISO14644-3:2019
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第3部分。GB/T25915已经发布了以下部分:—第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;
—第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;—第3部分:检测方法;
—第4部分:设计、建造、启动;—第5部分:运行;
—第6部分:词汇;
—第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);—第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;
—第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;
—第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;
—第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求;
—第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁;—第14部分:按粒子浓度评估设备适用性;
—第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性;
—第16部分:提升洁净室和空气净化装置的能效。
本文件代替GB/T25915.3—2010《洁净室及相关受控环境第3部分:检测方法》,与GB/T25915.3—2010相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a)第3章术语和定义:
—更改术语“离散粒子计数器”为“光散射粒子计数器”(见3.6.4,2010年版的3.6.8);
—增加了“分辨力”(见3.1.5)、“灵敏度”(见3.1.6)和“配有流量计的风量罩”(见3.6.3);
—删除了“大粒子”“M描述符”“U描述符”“超微粒子”“标准渗漏透过率”“平均风量”“非等动力采样”“串级撞击采样器”“凝聚核计数器”“计数效率”“微分迁移率分析仪”“扩散元件”“伪计数”“风量罩”“同轴采样”“等动力采样”“粒径限制器”“阈值粒径”“飞行时间粒径测量”和“虚拟撞击器”(见2010年版的3.2.4、3.2.5、3.2.11、3.2.12、3.3.10、3.4.2、3.6.2、3.6.3、3.6.4、3.6.5、3.6.6、3.6.7、3.6.9、3.6.10、3.6.11、3.6.12、3.6.13、3.6.14、3.6.15、3.6.16);
b)更改“必测项目”为“一般检测”,并更新了具体内容(见4.1.1