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白光干涉测量系统的关键处理算法研究.pdf

发布：2024-10-20约10.02万字共93页下载文档
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摘要

摘要

精密测量技术是工业制造的基础，也是发展高端制造业的必备条件。近年来，

白光干涉测量技术因其高精度、高速度、无损伤等优点而被广泛应用于精密零部件

的检测中。目前，很多研究通过提升光学元件、机械导轨等硬件结构的精度来提升

白光干涉测量系统的测量精度，但是此类硬件结构的精度提升有一定的瓶颈。而通

过改善处理算法来提升测量精度是一个很有效的途径。本文搭建了白光干涉测量

系统，研究了白光干涉信号解调算法及三维点云处理算法，并通过标准环规

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