静电防护工程.pdf

2/9/2015 项目概述 电子制造静电防护工程 电子制造静电防护工程 静电防护工程是咨询类服务项目，为电子制造企 业提供静电防护体系的总体解决方案，进行ESD防护的 咨询与工程改造，建立ESD控制管理规范，乃至帮助企 工业和信息化部电子第五研究所 业通过相关认证。 （中国赛宝实验室） (2015年1月） 主要内容 1. 基本概念： 1. 静电的基础知识 静电放电（ESD—Electrostatic Discharge）：带有不同静电 电势的物体或表面之间的静电电荷转移。有两种形式：接触放 2. 电，电场击穿放电。 2. 静电的防护方法 防护区域(EPA—ESD Protect Area)：操作静电敏感器件要求在 EPA区域里进行。 3. 3. 服务项目 静电的产生：摩擦剥离起电、感应起电、电容的改变 静电的危害  电子行业的制造和使用厂商因为静电造成的损失和危害是相当严 各种常用器件的静电敏感性 重的，每年的损伤达数十亿美元。 人体的静电电压能达到 微电子器件的尺寸越来越小，COMS IC中栅条宽度达到0.18um，栅 几千伏到几十千伏，足 氧厚度达到几个nm，栅氧的击穿电压小于20V,静电的危害越来越明显。 (Device) 以损坏各种常见的半导 体器件！ (Wafer) 某企业器件失效原因总结 器件静电损伤失效形貌 1 2/9/2015