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氮基双向开关器件及其制造方法.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114586176 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202180004475.6 H01L 29/40 (2006.01)

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