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成膜装置.pdf

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114574815 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202111416868.6 H01L 51/56 (2006.01) (22)申请日 2021.11.

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